图形化蓝宝石衬底(PSS)技术是一种提高LED亮度的新技术.结合光刻和刻蚀工艺制作图形化蓝宝石衬底.有关图形化蓝宝石衬底的研究主要集中在对光刻和刻蚀工艺的研究,以及图形化蓝宝石衬底提高LED亮度的机理.目前微米级图形化蓝宝石衬底已经得到普遍的应用,与基于平坦蓝宝石衬底的LED相比,PSS-LED的发光功率提高了30%左右.图形化蓝宝石衬底技术的发展经历了从早期的条纹状图形到目前应用较广的半球形和锥形图形,从湿法刻蚀到干法刻蚀,从微米级到纳米级图形的演变.由于能够显著提高LED亮度,纳米级图形化蓝宝石必将得到广泛的运用.
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主要产品范围 :
1、 液晶面板(TFT)正型光刻胶
2、 触摸屏(Touch Panl)正型光刻胶 超黑矩阵(BM)黑胶 OC光刻胶 卷对卷(Roll to Roll)工艺光刻胶 柔性性路板光刻胶 FPC工艺用正胶
3、 倒装(Bumping)工艺光刻胶:适用于电镀铜(ECP)工艺 凸点下金属(UBM)工艺;重布线层(RDL)工艺;影像感测器封装(Copper/Au Piller bump)工艺光
4、 LED行业:台阶刻蚀(MESA)工艺正胶 蒸镀(Lift-off)工艺负胶 透明电极(TCL)工艺正胶 电流阻挡层(BCL)工艺正胶 钝化层(PV)工艺正胶 高压芯芯片(HV)工艺正胶。
5、 手机盖板行业:3D喷涂曝光型光阻油墨(黑白色) 喷涂曝光纹理光阻油墨 喷涂曝光抗氢氟酸光阻油墨 水性防爆胶 喷涂防爆膜 变色光阻油墨;
6、 铜制程工艺:铜制程表面处理剂 铜腐蚀液 不伤金属(Ni,Al,Au,Ag等)去胶液
7、 其它配套试剂:高纯低杂质显影液 不伤金属(Ni,Al,Au,Ag等)去胶液, 不伤金属(Ni,Al,Au,Ag等)去腊液 洗边剂(EBR) 不伤铝二氧化硅腐蚀液(BOE) 光刻胶稀释剂 氧化铟锡(ITO)腐蚀液 SiO2抛光液 钻石抛光液 SiO2抛光清洗剂(不伤铝);
8、 其它配件:MOCVD外延设备配件(石英配件 钨钼配件 加热器 周边设备配套);刻蚀机和蒸发台等设备配件;
9、 生产制程辅助工具和材料:Tray盘 花篮 膜 针等